無塵高溫試驗箱

無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,無塵干燥箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱  的詳細介紹

無塵高溫試驗箱,潔凈烘箱,無塵烤箱,百級無塵烘箱,無塵干燥箱,百級無塵烤箱,100級潔凈烤箱

Class 100 Clean Ovens

無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

一．用途:

PVC無塵烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

二．特點：

1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達到Class 100

2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機臺本身所產(chǎn)生微塵；

3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)

4.強制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到zui佳溫度控制精度。

三．產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：

1.主要技術(shù)指標：

  無塵等級：Class 100;                   溫度范圍： 60～ +300℃；

  溫度均勻度：200℃±4℃;             溫度波動度：±0.5℃（空載）        

  溫控精度：±0.1℃;                        工作尺寸：W800×D600×H1300        

  電源：380v , 50Hz，15KW         網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理

HEPA過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。zui小限度控制風(fēng)速距離。

M計裝可編程控制

1模式20步驟，zui多可做10個模式。溫度上升·下降斜率設(shè)定程序的重復(fù)次數(shù)在1-999次間設(shè)定。

簡單操作的標準計裝

標準配置定值運行模式以及自動啟動·自動停止等可設(shè)定動作的程序運行。標準配置溫度過升防止器。

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