計算機軟硬件、電子產(chǎn)品開發(fā)及銷售;真空泵、真空鍍膜設(shè)備、氣體檢測設(shè)備研發(fā)安裝銷售維修;銷售:儀器儀表、機電產(chǎn)品、電力設(shè)備…
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產(chǎn)品品牌Atovac
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更新日期2025-06-04 09:04
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品牌: |
Atovac |
所在地: |
四川 成都市 |
起訂: |
≥1 個 |
供貨總量: |
100 個 |
有效期至: |
長期有效 |
壓力范圍(滿量程): |
1、2、10、100、1000 |
精度: |
±0.25%讀數(shù) |
最大壓力: |
310Kpa |
ACM200電容薄膜真空計
ACM200 電容薄膜壓力計,通常安裝在真空腔體或管道上,讀取實時壓力,±15VDC的電源和0 - 10VDC信號輸出的,廣泛用于半導(dǎo)體工程和真空工業(yè)設(shè)備。
特點
直接測量方式測量壓力
無關(guān)氣體組分影響
可應(yīng)用于腐蝕性氣體環(huán)境,適合于各類制程應(yīng)用
可搭配Atovac儀表,實時顯示
測量范圍從10E-4Torr至1000TOrr,覆蓋大多數(shù)制程壓力范圍
規(guī)格
壓力范圍(滿量程)
1、2、10、100、1000
最低壓力
0.01%滿量程
精度
±0.25%讀數(shù)
可選:±0.15%讀數(shù)
溫度效應(yīng)
零點
跨度
0.002% 滿量程/°C
0.02% 讀數(shù)/°C
工作環(huán)境溫度
0℃至50℃
暴露于氣體中的材料
鉻鎳鐵合金
泄漏率
1x10-8sec/sec He
最大壓力
310Kpa
電源要求
±15VDC (±5%) @ 35 mA
輸出信號
0 to +10VDC into ≥ 10K Ω load
法蘭
8 VCR, NW16KF
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