潔凈工程,實(shí)驗(yàn)室裝修,潔凈間,潔凈廠房裝修等
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更新日期2023-03-24 11:10
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品牌: |
華旭 |
所在地: |
北京 |
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工藝設(shè)計(jì)是潔凈廠房設(shè)計(jì)過程的先導(dǎo)工序,所以對潔凈廠房工藝設(shè)計(jì)的基本要求是在滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求的前提下,合理進(jìn)行潔凈廠房工藝布局,合理確定各種公用動力設(shè)施的技術(shù)條件和要求等生產(chǎn)條件,做到能量消耗少,運(yùn)行費(fèi)用低,生產(chǎn)效率高和建設(shè)投資少,合理進(jìn)行人流路線,物料運(yùn)輸和倉儲設(shè)施的配置與布置,滿足產(chǎn)品潔凈生產(chǎn)要求和生產(chǎn)工藝要求,工藝設(shè)計(jì)應(yīng)合理選擇生產(chǎn)設(shè)備的自動化水平和物料運(yùn)輸?shù)淖詣踊剑诮?jīng)濟(jì),實(shí)用,安全可靠的條件下提高生產(chǎn)效率。
潔凈廠房的工藝布局應(yīng)綜合各方面的因素,并重點(diǎn)考慮生產(chǎn)工藝,人員操作,設(shè)備維修,物料運(yùn)輸,未來發(fā)展等方面的要求,工藝布局的核心是滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求,在此前提下根據(jù)所選擇的潔凈室氣流流型,在有利于工藝設(shè)備的安裝維修,物料運(yùn)輸和提高效率,降低能耗,降低造價等條件下,合理進(jìn)行潔凈廠房的工藝布置。
在電子工業(yè)的集成電路芯片生產(chǎn)用潔凈廠房的工藝布局設(shè)計(jì)時,為了降低各生產(chǎn)工序發(fā)生的投資和運(yùn)行成本,應(yīng)合理地進(jìn)行生產(chǎn)設(shè)備的布置來縮短產(chǎn)品生產(chǎn)過程的搬運(yùn)距離和時間,提高設(shè)備的利用率。一般是由產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝技術(shù)來確定工藝流程,并通過對工藝流程的各步驟分析,計(jì)算芯片在生產(chǎn)過程中各功能區(qū)域的傳送頻次。為了減少硅片傳送距離,傳送頻次較高的區(qū)域建議相鄰布置,如光刻區(qū)ing靠近刻蝕區(qū),刻蝕區(qū)要靠近去膠清洗區(qū)等。集成電路芯片生產(chǎn)應(yīng)依據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工序分核心生產(chǎn)區(qū)和生產(chǎn)支持區(qū),通常核心生產(chǎn)區(qū)的生產(chǎn)工藝有光刻,刻蝕,清洗,氧化,擴(kuò)散,濺射,化學(xué)氣相淀積,離子注入等,一般在生產(chǎn)支持區(qū)設(shè)有人員凈化用室,物料凈化用室,各種工藝介質(zhì)的儲存分配間等。芯片生產(chǎn)的核心區(qū)通常以光刻工藝為中心進(jìn)行布置。
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