真空腔體

類型

高溫加熱型 1000℃（高于 600℃需真空環境）

腔體材質

6061 鋁合金

腔體重量

約1.5KG

腔體內尺寸

147mmX72mmX22mm

腔體外尺寸

170mmX95mmX37mm

腔體上視窗尺寸

Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

腔體抽氣口

KF16法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體真空測量口

KF16 法蘭（其余接口規格可轉接）

腔體進氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體冷卻方式

腔體水冷+上蓋氣冷

腔體水冷接口

6mm快擰 或 6mm快插

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機械泵≤5Pa （5分鐘）  分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）

樣品臺

樣品臺材質

高溫絕緣陶瓷 

樣品臺尺寸

26x26mm

樣品臺加熱方式

電阻加熱

樣品臺-視窗 距離

13mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）

樣品臺測溫傳感器

S 型熱電偶

樣品臺溫度

室溫到1000℃

樣品臺測溫誤差

±0.1℃

樣品臺升溫速率

高溫 100℃/min 最大值

溫控儀

溫度顯示

7寸人機界面

溫控類型

標準 PID 溫控 +自整定 30 段編程控溫

溫度分辨率

1℃

溫控精度

±1℃

溫度信號輸入類型

S （可選 PT100 熱電阻 K B 型熱電偶）

溫控輸出

直流線性電源加熱

輔助功能

溫度數據采集并導出  實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口

溫控器尺寸

32cmX170cmX380cm

溫控器重量

約5.6KG

水冷機

冷卻方式

壓縮制冷

冷卻溫度

室溫到 5℃

冷卻水流量

10L/min

冷卻介質

純水

冷卻水管接口

6mm 快插

循環水箱容量

6L

水冷機尺寸

56cmX28cmX45cm

水冷機重量

約 26KG

整機功率

600W