東莞市品雅真空設(shè)備有限公司羅茨真空泵試驗(yàn)方法的研究
1、羅茨泵的抽氣速率和極限壓力是泵的主要性能，但它在很大程度上要依賴于前級(jí)泵的型式和性能，因此它并不是羅茨泵本身特有的性能。能代表羅茨泵特征性能，而又與前級(jí)泵無關(guān)的是零流量壓縮比、最大允許壓差與溢流閥壓差、漏率和噪聲，它們與羅茨泵的真空狀態(tài)、抽氣性能和運(yùn)行質(zhì)量有著極其密切的關(guān)系。文中對(duì)特征性能的試驗(yàn)方法和裝置進(jìn)行了分析和研究，提出了有異于國內(nèi)外現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)的，更精粹、獨(dú)特的見解。
2、抽氣速率和極限壓力是羅茨泵的主要性能參數(shù)，但它不是羅茨泵本身特有的性能參數(shù)，而是羅茨泵和各種前級(jí)泵所組成的機(jī)組的性能參數(shù)。真正能反映羅茨泵特征性能，而又與前級(jí)泵無關(guān)的性能參數(shù)是零流量壓縮比、最大允許壓差與溢流閥壓差、漏率和噪聲。它們能真實(shí)反映羅茨泵的真空狀態(tài)、抽氣性能和運(yùn)轉(zhuǎn)的可靠性、穩(wěn)定性。
3、氣冷式羅茨泵可以單臺(tái)直排大氣，這與普通羅茨泵有所區(qū)別，但由于消耗功率較大，一般均采用多臺(tái)串聯(lián)或以其它泵作前級(jí)，組成多級(jí)羅茨機(jī)組，此時(shí)氣冷式羅茨泵成了機(jī)組的主泵，它的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài)就與普通羅茨泵相同了。
4、測試罩的作用是穩(wěn)定壓力，所以從理論上說測試罩的容積越大越好，但在現(xiàn)實(shí)中是不可能的。即使國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的罩的容積至少應(yīng)為泵腔有效容積的5 倍，這對(duì)中小型泵而言毫無疑議，但對(duì)5000L/s以上的大型泵則就顯得太大了，這么重的罩壓在中空的羅茨泵上，一不小心就可能把泵壓變形了。測試罩究竟取多大為好，國際真空界對(duì)此也有爭論。為此我們?cè)赯J-600型羅茨泵上做了直徑為400 mm和200mm的測試罩的對(duì)比試驗(yàn)，400mm測試罩的容積正好是標(biāo)準(zhǔn)所要求的5倍，而200mm測試罩的容積只有0.56倍。用這二種測試罩測試零流量壓縮比K0的對(duì)比，測試儀器為MKS公司的626A型電容壓力傳感器（0.1、10、100、1000）和PDR2000型雙通道電源和顯示儀。
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