有機廢氣治理工程工藝流程主要包括三部分：吸附氣體流程、脫附氣體流程、控制系統，詳見上圖的工藝流程圖。

吸附氣體流程：待處理的有機廢氣由風管引出后進活性炭吸附床，氣體進入吸附床后，氣體中的有機物質被活性炭吸附而著附在活性炭的表面，從而使氣體得以凈化，凈化后的氣體再通過風機排向大氣。

脫附氣體流程：當吸附床吸附飽和后，停止主風機；關閉吸附箱進出口閥門。啟動脫附風機對該吸附床脫附，脫附氣體首先經過催化床中的換熱器，然后進入催化床中的預熱器，在電加熱器的作用下，使氣體溫度提高到300℃左右，再通過催化劑，有機物質在催化劑的作用下燃燒，被分解為CO2和H2O，同時放出大量的熱，氣體溫度進一部提高，該高溫氣體再次通過換熱器，與進來的冷風換熱，回收一部分熱量。從換熱器出來的氣體分兩部分：一部分直接排空；另一部分進入吸附床對活性炭進行脫附。當脫附溫度過高時可啟動補冷風機進行補冷，使脫附氣體溫度穩定在一個合適的范圍內。活性炭吸附床內溫度超過報警值，自動啟用火災應急自動噴淋系統。

控制系統：控制系統對系統中的風機、預熱器、溫度、電動閥門進行控制。當系統溫度達到預定的催化溫度時，系統自動停止預熱器的加熱，當溫度不夠時，系統又重新啟動預熱器，使催化溫度維持在一個適當的范圍；當催化床的溫度過高時，開啟補冷風閥，向催化床系統內補充新鮮空氣，可有效地控制催化床的溫度，防止催化床的溫度過高。此外，系統中還有防火閥，可有效地防止火焰回串。當活性碳吸附床脫附時溫度過高時，自動打開閥門利用主風機降溫。