無塵烘箱主要應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓片光刻涂膠鍍膜前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking)，曝光、顯影后的堅膜硬烘（Hard baking)等工藝，適用半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤，亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫(yī)藥、光學(xué)鍍膜、精密元件干燥等生產(chǎn)工藝以及研發(fā)機(jī)構(gòu)。

一．無塵烘箱特點(diǎn)：

1.可對接MES系統(tǒng)

2.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100

3.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；

4.采用進(jìn)口SUS304#日制800番2mm厚之鏡面不銹鋼板，并經(jīng)堿性蘇打水清潔，去油污避免烘烤時產(chǎn)

生PARTICLE；

5.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 24"×24"×5-7/8"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計)

方向送風(fēng)，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風(fēng)門)

二．無塵烘箱產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)

 1.名稱及型號：無塵烘箱  COL-2D-PC

 2.主要技術(shù)指標(biāo)：

 2.1無塵等級：Class 100;

2.2溫度范圍： +60～ 200℃,

2.3溫度均勻度：±1.5%℃（空載測試）

2.4溫度精確度：±1℃（空載）

2.5設(shè)備型號：

 3、溫控系統(tǒng)

3.1采用智能控制系統(tǒng),日本優(yōu)易控  10〃TFT真彩觸摸薄屏 

                 程式編輯：可預(yù)編120個程式，每個程式最大可編99段，共1200段

                 歷史數(shù)據(jù)查詢(數(shù)據(jù)可以通過USB接口導(dǎo)出)

  3.2訊號來源：采日制進(jìn)口CA感應(yīng)棒±0.5%。

  3.3輸出被控制組件：SSR無接點(diǎn)訊號輸出。

4、完善的安全保護(hù)措施：漏電保護(hù)//過熱保護(hù)  報警//電機(jī)保護(hù)  報警//門鎖， 工作時門自動鎖//異

常顯示(紅色警示燈)

公司名稱：上海旦順實(shí)業(yè)有限公司

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