①廢氣預處理 為了避免催化劑床層的阻塞和催化劑中毒，廢氣在進入床層之前有必要進行預處理，以除掉廢氣中的粉塵、液滴及催化劑的毒物。
②預熱設備 預熱設備包含廢氣預熱設備和催化劑焚燒器預熱設備。因為催化劑都有一個催化活性溫度，對催化焚燒來說稱催化劑起燃溫度，有必要使廢氣和床層的溫度到達起燃溫度才干進行催化焚燒。因 此，有必要設置預熱設備。但關于排出的廢氣自身溫度就較高的場合，如漆包線、絕緣材料、烤漆等烘干排氣，溫度可達300℃以上，則不用設置預熱設備。 預熱設備加熱后的熱氣可選用換熱器和床層內布管的辦法。預熱器的熱源可選用煙道氣或電加熱，現在選用電加熱較多。當催化反響開端后，可盡量以收回的反響熱來預熱廢氣。在反響熱較 大的場合，還應設置廢熱收回設備，以節省動力。 預熱廢氣的熱源溫度一般都超過催化劑的活性溫度。為維護催化劑，加熱設備應與催化焚燒設備保持一定距離，這樣還能使廢氣溫度散布均勻。 從需要預熱這一點出發，適用于連續排氣的凈化，若間歇排氣，不只每次預熱需要耗能，反響熱也無法收回利用，會形成很大的動力糟蹋，在規劃和挑選時應留意這一點。
③催化焚燒設備一般選用固定床催化反響器。反響器的規劃按標準進行，應便于操作，修理便利，便于裝卸催化劑。 在進行催化焚燒的工藝規劃時，應根據具體情況，關于處理風量較大的場合，規劃成分建式流程，即預熱器、反響器獨立裝設，其間用管道銜接。關于處理風量小的場合，可選用催化焚燒 爐，把預熱與反響組合在一起，但要留意預熱段與反響段間的距離。在有機物廢氣的催化焚燒中，所要處理的有機物廢氣在高溫下與空氣混合易引起爆炸，安全問題十分重要。因此，一方面有必要操控有機物與空氣的混合比，使之在爆炸下限；另一方面，催化 焚燒體系應設監測報警設備和有防爆措施。