臭氧脫硝系統(tǒng)主要由制氧系統(tǒng)、臭氧發(fā)生系統(tǒng)、臭氧噴射系統(tǒng)、洗滌塔系統(tǒng)、輔助的氣源系統(tǒng)、工藝水系統(tǒng)、安全報警系統(tǒng)和PLC的全自動控制系統(tǒng)組成。在除塵系統(tǒng)后部（洗滌塔前）的煙道上設有臭氧噴射系統(tǒng)，臭氧將煙氣中的不溶性低價氮氧化物氧化為可溶性高價態(tài)的氮氧化物NOx，之后進入洗滌塔。煙氣通過洗滌塔入口從洗滌塔漿液池上部進入吸收區(qū)，在吸收區(qū)熱煙氣與自上而下的漿液接觸發(fā)生化學吸收反應，即氮的氧化物（NOx）與氫氧化鈣反應，形成硝酸鈣，煙氣同時被冷卻。在此，煙氣中的NOx被吸收洗滌，起到脫除氮氧化物的目的。洗滌后的煙氣依次經(jīng)過除霧器除去霧滴，再經(jīng)凈煙道由煙囪排入大氣。輔助的安全報警系統(tǒng)在臭氧制備區(qū)內(nèi)安裝有臭氧泄漏報警儀，當制備區(qū)域內(nèi)環(huán)境中臭氧/氧氣泄露超標時，系統(tǒng)輸出報警信號。整個臭氧脫硝系統(tǒng)采用PLC的全自動控制，能夠完成脫硝裝置內(nèi)所有的測量、監(jiān)視、操作、自動控制、報警及保護和聯(lián)鎖、記錄等功能。

臭氧脫硝在生物質(zhì)鍋爐、循環(huán)流化床鍋爐、垃圾焚燒爐、玻璃窯中小爐窯等領域具有較佳的技術經(jīng)濟性，上述鍋爐機組燃燒工況極其復雜，隨著日益嚴格的環(huán)保要求，只采用SNCR已經(jīng)不能滿足排放要求，必須再上一套脫硝設備，進一步降低NOx的出口排放濃度。如果采用SCR，鍋爐沒有適合SCR的溫度場，需要投入大量資金改造鍋爐，而且復雜的燃燒工況如：水汽含量高、飛灰含大量堿性成分等，將大大降低催化劑的活性，脫硝鍋爐改造成本及運行費用高昂。臭氧脫硝系統(tǒng)具有設備獨立性，操作靈活性，運行維護費用低等優(yōu)勢，采用SNCR+臭氧脫硝設備能夠滿足鍋爐任何工況使用要求。按此工況，若采用SCR脫硝，催化劑在爐內(nèi)磨損消耗，運行成本極高，若采用臭氧脫硝，只需上一套臭氧脫硝設備，臭氧按需求投加即可。如在xx公司有3×150t/h循環(huán)流化床鍋爐，鍋爐滿負荷運行時只采用SNCR即可滿足排放要求，但在正常運行中，經(jīng)常有一臺鍋爐并不能帶到滿負荷，且循環(huán)切換，因此，臭氧脫硝雖然臭氧產(chǎn)生的成本較高，但是在某些特定運用領域經(jīng)濟性明顯。